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标准溅射
产品先容
沉积方向: 向上或向下
枪口尺寸:2~4 英寸 (基板 : ~6 Inch)
基板温度:Max 500℃ (连续使用标准值)
系统控制: PLC + 触控 (手册) 
可选: 预处理单元, 衬底偏片, Max 800 ℃
           全自动数控,数据记录(PLC + PC)
           6~8 英寸枪口(基板 : 6~12 英寸)可能, 单室大小可变更 
溅射工艺参考



Plasma change the world
联系人:杨先生
手机:13510501616
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