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标准等离子刻蚀机
产品先容

偏置功率:600 W (12.56 MHz)
基板尺寸:Max 6 英寸晶圆
表面冷却:背面冷却
换热器:-30 ℃ ~ 100 ℃:
系统控制: PLC + 触控 (手册l)
可选 :
全自动数控,数据记录(PLC + PC) 
等离子蚀刻机工艺参数

 

Plasma change the world
联系人:杨先生
手机:13510501616
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