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标准 RTP
产品先容
热源:卤钨灯
温度控制&监控:热电偶
基板尺寸:Max 6 英寸晶圆
基板温度: Max 1,000℃
上升率:~ 30 ℃/sec
系统控制: PLC + 触控 (手册l)                       
可选 :
全自动数控
数据记录 (PLC + PC)

Plasma change the world
联系人:杨先生
手机:13510501616
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