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热处理群集系统
产品先容
工艺: 各工艺系统PECVD,
阴极型:平面或旋转阴极
基板尺寸: 200mm by 200mm
系统控制:PLC + Touch (Manual)
可选
预处理单元,衬底偏压, Max 600 ℃
全自动数控,数据记录 (PLC + PC) 


Plasma change the world
联系人:杨先生
手机:13510501616
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