云顶娱乐yd2222
- 半导体等离子处理设备
- VDP-B系列
- VAP系列
- VCP系列
- VDP-A系列
- 真空等离子清洗机
- 实验型等离子处理机
- 小型等离子处理机
- 中型等离子处理机
- PCB用水平等离子处理机
- PCB用垂直等离子处理机
- 卷对卷等离子处理机
- 在线式等离子设备
- 常压（大气）等离子机
- AP型常压等离子处理机
- 定制流水线式设备
- 等离子准辉光放电表面处理机
- 常压（大气）宽幅等离子设备
- 高真空干燥系统
- 检测仪器
- 水滴角测试仪
- 真空等离子设备耗材
- 常压等离子设备耗材
- 等离子电浆抛光设备
- 韩国进口等离子设备
- 韩国PSM等离子设备
- 韩国LAT等离子设备
ContactUs
Telephone：0755-81452366
Fax：0755-81493996
Email：sales@szoksun.com
Address：深圳市宝安区沙井街道大王山工业一路信隆科技园6层
VCP系列
主页
> 云顶娱乐yd2222 > 半导体等离子处理设备 > VCP系列
VCP系列 晶圆级等离子清洗系统
整机结构 | 带load port系统分为前端设备操作单元、前端EFEM单元及等离子处理单元，前端EFEM系统与等离子体处理单元分体式设计 |
等离子体源 | 射频等离子体源或双频等离子体源 |
反应腔室 | 标准设计为双反应腔室，可根据需求定制单反应腔室和多反应腔室结构 |
机械传片 | 单臂或双臂高精度机械手 |
Wafer升降 | 机械式Wafer pin升降结构，Wafer pin采用特定工艺处理 |
真空泵 | 干式真空泵，根据安装位置及工艺不同，选择100-300m3/h规格。如工艺需求，可增加分子泵 |
工艺压力控制 | 自动调压蝶阀或固定旁通结构 |
真空检测 | 管道真空计、反应腔室全量程真空计、工艺真空计 |
工艺气体种类 | 标准配置Ar、N2、O2，可增加其他工艺气体 |
气体流量控制 | 质量流量控制器（MFC） |
控制系统 | 基于工业电脑设计开发的人机交互系统，系统设计人性化、操作简单 |