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PM80L真空等离子处理机
产品先容

            机台名称:真空等离子处理机

机台型号:OKSUN-PM80L

 

整机规格:8层 920mm(W)×1030mm(D)×1720mm(H)

 

电极规格:8层平板式电极板(420mm×360mm)

 

电源系统:1KW等离子体发生源(40KHz,可选13.56MHz)

 

控制系统:触摸屏+PLC自动控制

 

进气系统:2—5路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2

 

特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支撑

 

用 途:适用于摄像头及行业,手机制造、半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等等。
1、摄像头、指纹识别行业:软硬结合板金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清洁。
 
2、半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗
 
3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。



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